
1、集成电路芯片是包括一硅基板、至少一电路、一固定封环、一接地环及至少一防护环的电子元件。集成电路芯片在加工完成后或者出厂前需要进行产品测试,现有的芯片测试设备在对集成电路芯片进行检测时,一般需要利用治具对集成电路芯片进行定位,并且一般治具上一次性可装载定位多个集成电路芯片。
2、目前,在使用ccd检测设备进行芯片瑕疵检测时,需要先将芯片固定到治具上,再通过ccd检测设备对其进行检测。传统的固定治具一般是翻盖式固定治具,即将固定治具的上盖打开,将芯片置放于下盖的凹槽内,再将上盖翻转以将芯片压住。该种固定治具固定繁琐,而且ccd检测时也无法调整芯片的方向,导致便捷性差。
1、本实用新型的目的在于提供一种半导体芯片加工用固定治具,以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体芯片加工用固定治具,包括外端壳、治具主体与固定模块,其中外端壳前、后两端开口,外端壳内侧装设有电机与治具主体,其中治具主体至少设置有两组,两组治具本体通过转杆安装于外端壳内;所述外端壳外侧装设有一组驱动带轮以及两组传动带轮,其中驱动带轮连接于电机轴端,两组传动带轮分别与两转杆连接,两组传动带轮通过皮带与驱动带轮联动;所述治具主体具有槽体,固定模块设置有多个且其呈矩形阵列分布于槽体内,每一固定模块均包括下支座、微型负压泵、上支板、调节螺杆与负压固定板。
3、优选的,下支座通过螺丝固定在治具主体的槽体内,下支座上安装微型负压泵。
4、优选的,微型负压泵上设置上支板,上支板四角分布有螺孔,调节螺杆上端连接负压固定板。
6、优选的,负压固定板上分布有若干吸孔,负压固定板通过软管与微型负压泵的输出侧连接。
8、本实用新型的固定模块采用负压式固定,通过布设多个固定模块,能实现芯片的检测固定,固定简易且快捷,同时能利用驱动带轮联动传动带轮,使两个治具主体都能自由转动,能便捷的调整芯片方向,提高了ccd检测的精度以及效率。
1.一种半导体芯片加工用固定治具,其特征在于,包括外端壳(1)、治具主体(3)与固定模块(6),其中外端壳(1)前、后两端开口,外端壳(1)内侧装设有电机(2)与治具主体(3),其中治具主体(3)至少设置有两组,两组治具主体(3)通过转杆安装于外端壳(1)内;所述外端壳(1)外侧装设有一组驱动带轮(4)以及两组传动带轮(5),其中驱动带轮(4)连接于电机(2)轴端,两组传动带轮(5)分别与两转杆连接,两组传动带轮(5)通过皮带与驱动带轮(4)联动;所述治具主体(3)具有槽体,固定模块(6)设置有多个且其呈矩形阵列分布于槽体内,每一固定模块(6)均包括下支座(601)、微型负压泵(602)、上支板(603)、调节螺杆(604)与负压固定板(605)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工用固定治具,其特征在于:所述下支座(601)通过螺丝固定在治具主体(3)的槽体内,下支座(601)上安装微型负压泵(602)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工用固定治具,其特征在于:所述微型负压泵(602)上设置上支板(603),上支板(603)四角分布有螺孔,调节螺杆(604)上端连接负压固定板(605)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体芯片加工用固定治具,其特征在于:所述调节螺杆(604)下端穿过螺孔并通过上、下两个螺母压紧。
5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工用固定治具,其特征在于:所述负压固定板(605)上分布有若干吸孔,负压固定板(605)通过软管与微型负压泵(602)的输出侧连接。
本技术公开了一种半导体芯片加工用固定治具,包括外端壳、治具主体与固定模块,其中外端壳前、后两端开口,外端壳内侧装设有电机与治具主体,其中治具主体至少设置有两组,两组治具本体通过转杆安装于外端壳内;所述外端壳外侧装设有一组驱动带轮以及两组传动带轮,其中驱动带轮连接于电机轴端,两组传动带轮分别与两转杆连接,两组传动带轮通过皮带与驱动带轮联动;所述治具主体具有槽体,固定模块设置有多个且其呈矩形阵列分布于槽体内,每一固定模块均包括下支座、微型负压泵、上支板、调节螺杆与负压固定板。本技术的固定模块采用负压式固定,通过布设多个固定模块,能实现芯片的检测固定,固定简易且快捷。
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