
光刻机的光线,对应的就是光刻胶的种类,不能混用,且光刻胶的品质,也决定了芯片的良率等。
而在所有的光刻胶之中,日本是处于垄断地位的,合计占到了全球份额的80%,越高端的,占有率越高,并且像EUV光刻胶,更是只有日本才能够生产。
并且,大家要注意的是,就算国产化率达到了28%,看起来国内也确实能够制造一些相对先进的ArF、ArF光刻胶了,但其生产线上的设备,以及原料大多还是从国外进口的,也就是说并不是实现了自主独立。
而现在,终于有一家企业搞定了全流程自主光刻胶产线,实现“有机合成—高分子合成—精制纯化—光刻胶混配”全链条自主制备。
这条生产线,可以制造KrF/ArF高端光刻胶,已经可覆盖 90nm 至 28nm 制程节点,后续还可能再覆盖至14nm等更先进工艺。