
芯片工艺流程是指制造一颗集成电路所需经过的一系列工艺步骤,包括芯片设计、掩
模制作、晶圆制备、光刻、蒸发、化学气相沉积、物理气相沉积、电镀、刻蚀、清洗、包
芯片设计是芯片制造的第一步,其目的是按照电路设计要求画出电路图,选择合适的
掩模是用来制作芯片的光学照射模板,包括金属掩膜和光刻胶掩膜等。制作过程中需
晶圆是芯片的基础,制备晶圆需要进行多次切割、抛光,并在表面制作氧化铝膜等处
光刻是将芯片设计的电路图转移到晶圆上的过程。首先需要将晶圆覆盖一层光刻胶,
然后用掩模将所需的芯片图形投射到胶层上,再用显影液将未曝光部分去除,留下所需形
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