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一种半导体芯片加工用固定治具制造技术
栏目:行业资讯 发布时间:2026-07-04
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一种半导体芯片加工用固定治具制造技术(图1)

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  本技术公开了一种半导体芯片加工用固定治具,包括外端壳、治具主体与固定模块,其中外端壳前、后两端开口,外端壳内侧装设有电机与治具主体,其中治具主体至少设置有两组,两组治具本体通过转杆安装于外端壳内;所述外端壳外侧装设有一组驱动带轮以及两组传动带轮,其中驱动带轮连接于电机轴端,两组传动带轮分别与两转杆连接,两组传动带轮通过皮带与驱动带轮联动;所述治具主体具有槽体,固定模块设置有多个且其呈矩形阵列分布于槽体内,每一固定模块均包括下支座、微型负压泵、上支板、调节螺杆与负压固定板。本技术的固定模块采用负压式固定,通过布设多个固定模块,能实现芯片的检测固定,固定简易且快捷。

  1、集成电路芯片是包括一硅基板、至少一电路、一固定封环、一接地环及至少一防护环的电子元件。集成电路芯片在加工完成后或者出厂前需要进行产品测试,现有的芯片测试设备在对集成电路芯片进行检测时,一般需要利用治具对集成电路芯片进行定位,并且一般治具上一次性可装载定位多个集成电路芯片。

  2、目前,在使用ccd检测设备进行芯片瑕疵检测时,需要先将芯片固定到治具上,再通过ccd检测设备对其进行检测。传统的固定治具一般是翻盖式固定治具,即将固定治具的上盖打开,将芯片置放于下盖的凹槽内,再将上盖翻转以将芯片压住。该种固定治具固定繁琐,而且ccd检测时也无法调整芯片的方向,导致便捷性差。

  2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种半导体芯片加工用固定治具,包括外端壳、治具主体与固定模块,其中外端壳前、后两端开口,外端壳内侧

  1.一种半导体芯片加工用固定治具,其特征在于,包括外端壳(1)、治具主体(3)与固定模块(6),其中外端壳(1)前、后两端开口,外端壳(1)内侧装设有电机(2)与治具主体(3),其中治具主体(3)至少设置有两组,两组治具主体(3)通过转杆安装于外端壳(1)内;所述外端壳(1)外侧装设有一组驱动带轮(4)以及两组传动带轮(5),其中驱动带轮(4)连接于电机(2)轴端,两组传动带轮(5)分别与两转杆连接,两组传动带轮(5)通过皮带与驱动带轮(4)联动;所述治具主体(3)具有槽体,固定模块(6)设置有多个且其呈矩形阵列分布于槽体内,每一固定模块(6)均包括下支座(601)、微型负压泵(602)

  1.一种半导体芯片加工用固定治具,其特征在于,包括外端壳(1)、治具主体(3)与固定模块(6),其中外端壳(1)前、后两端开口,外端壳(1)内侧装设有电机(2)与治具主体(3),其中治具主体(3)至少设置有两组,两组治具主体(3)通过转杆安装于外端壳(1)内;所述外端壳(1)外侧装设有一组驱动带轮(4)以及两组传动带轮(5),其中驱动带轮(4)连接于电机(2)轴端,两组传动带轮(5)分别与两转杆连接,两组传动带轮(5)通过皮带与驱动带轮(4)联动;所述治具主体(3)具有槽体,固定模块(6)设置有多个且其呈矩形阵列分布于槽体内,每一固定模块(6)均包括下支座(601)、微型负压泵(602)、上支板(603)、调节螺杆(604)与负压固定板(605)。