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芯片制造“核心工艺”完全指南
栏目:行业资讯 发布时间:2026-09-18
   1、流程:硅石 + 高纯度碳冶金级硅三氯氢硅提纯单晶硅生长(直拉法/悬浮区熔法)12道精密加工(滚切、切片、抛光等);  3、先进技术:等离子体氧化(低

  

芯片制造“核心工艺”完全指南(图1)

  1、流程:硅石 + 高纯度碳→冶金级硅→三氯氢硅提纯→单晶硅生长(直拉法/悬浮区熔法)→12道精密加工(滚切、切片、抛光等);

  3、先进技术:等离子体氧化(低温减缺陷)、ALD原子层沉积(原子级超薄氧化层)。

  2、曝光:接触/接近→投影/步进,EUV极紫外光刻(7nm及以下量产);

  1、核心工艺:离子注入(精准控掺杂、低温、需退火修复)+ 扩散(预淀积 + 再分布);

  2、分区:集电区(磷穿透扩散降阻)、基区(硼扩散/离子注入)、发射区(磷扩散/高剂量注入)。

  2、先进:难熔金属硅化物(NiSi先进节点首选)、铜互连(低阻,双大马士革工艺);

  2、先进技术:ALD、自组装单层SAMs、SiCN;柔性钝化适配柔性电子。