
1、流程:硅石 + 高纯度碳→冶金级硅→三氯氢硅提纯→单晶硅生长(直拉法/悬浮区熔法)→12道精密加工(滚切、切片、抛光等);
3、先进技术:等离子体氧化(低温减缺陷)、ALD原子层沉积(原子级超薄氧化层)。
2、曝光:接触/接近→投影/步进,EUV极紫外光刻(7nm及以下量产);
1、核心工艺:离子注入(精准控掺杂、低温、需退火修复)+ 扩散(预淀积 + 再分布);
2、分区:集电区(磷穿透扩散降阻)、基区(硼扩散/离子注入)、发射区(磷扩散/高剂量注入)。
2、先进:难熔金属硅化物(NiSi先进节点首选)、铜互连(低阻,双大马士革工艺);
2、先进技术:ALD、自组装单层SAMs、SiCN;柔性钝化适配柔性电子。